北京华卓精科科技股份有限公司
展位号:1R30
时间:11月19-21日
地点:深圳会展中心(福田区老展馆)
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关于华卓精科
北京华卓精科科技股份有限公司(简称华卓精科)于2012年创立,总部位于北京经济技术开发区,并在杭州、上海等地设有全资子公司。主营业务为集成电路制造装备及关键零部件的研发和产业化。目前产品包括光刻机双工件台及其衍生产品超精密运动平台、晶圆退火设备、晶圆键合设备、晶圆传输系统、主被动隔振器、静电卡盘、精密测量系统等整机设备及半导体关键零部件,主要应用于集成电路芯片制造、先进封装、功率器件制造等产线,并在电子制造、激光加工等高端技术领域实现广泛应用。
创新:公司坚持“创新驱动、技术引领”的经营理念,秉承“至精至卓、至善至诚”的核心价值观,凭借多年持之以恒的深耕细作,掌握了多项超精密测控设备及关键零部件制造领域的核心技术,并不断深化产品的研发与应用。
责任:华卓精科肩负着国家科技重大专项战略攻关任务,为打造中国“芯”发挥着关键作用。
发展:公司注册资金24000万,成立时间2012年5月9日,公司现有团队450余人。2018年,分别在美国、杭州、上海设立子公司。2020年6月,公司位于亦庄的研发制造基地已正式投入使用。园区建筑面积45000平米、总投资4.9亿元,建有万级、千级洁净间及世界一流的光学精密实验室,是集生产车间、食堂、宿舍、体育健身等功能融合为一体的现代化工业园区。
华卓精科2020参展产品精选
- G8.5Scan高精度运动台
大尺寸自动光学检测设备stage工件台,应用于8.5代TFT-LCD显示面板的缺陷检测等。
产品特性
设备满足X+Y+Z三个方向的位移运动,可实现X、Y高精度的步进和扫描运动,Z向高精度的微动聚焦;
X、Y采用空气轴承、花岗岩大理石基座,低摩擦,保证了运动平面度;
无铁芯直线电机驱动,降低推力波动,提高运动稳定性;
高分辨率光栅系统作位置反馈。