展商速递 | 华卓精科,成就专项重大科研成果产业化

北京华卓精科科技股份有限公司

展位号:1R30

时间:11月19-21日

地点:深圳会展中心(福田区老展馆)

欢迎相关企业莅临商谈!

 

关于华卓精科

北京华卓精科科技股份有限公司(简称华卓精科)于2012年创立,总部位于北京经济技术开发区,并在杭州、上海等地设有全资子公司。主营业务为集成电路制造装备及关键零部件的研发和产业化。目前产品包括光刻机双工件台及其衍生产品超精密运动平台、晶圆退火设备、晶圆键合设备、晶圆传输系统、主被动隔振器、静电卡盘、精密测量系统等整机设备及半导体关键零部件,主要应用于集成电路芯片制造、先进封装、功率器件制造等产线,并在电子制造、激光加工等高端技术领域实现广泛应用。

 

创新:公司坚持“创新驱动、技术引领”的经营理念,秉承“至精至卓、至善至诚”的核心价值观,凭借多年持之以恒的深耕细作,掌握了多项超精密测控设备及关键零部件制造领域的核心技术,并不断深化产品的研发与应用。

 

责任:华卓精科肩负着国家科技重大专项战略攻关任务,为打造中国“芯”发挥着关键作用。

 

发展:公司注册资金24000万,成立时间2012年5月9日,公司现有团队450余人。2018年,分别在美国、杭州、上海设立子公司。2020年6月,公司位于亦庄的研发制造基地已正式投入使用。园区建筑面积45000平米、总投资4.9亿元,建有万级、千级洁净间及世界一流的光学精密实验室,是集生产车间、食堂、宿舍、体育健身等功能融合为一体的现代化工业园区。

 

华卓精科2020参展产品精选

  • G8.5Scan高精度运动台

大尺寸自动光学检测设备stage工件台,应用于8.5代TFT-LCD显示面板的缺陷检测等。

 

产品特性

  • 设备满足X+Y+Z三个方向的位移运动,可实现X、Y高精度的步进和扫描运动,Z向高精度的微动聚焦;

  • X、Y采用空气轴承、花岗岩大理石基座,低摩擦,保证了运动平面度;

  • 无铁芯直线电机驱动,降低推力波动,提高运动稳定性;

  • 高分辨率光栅系统作位置反馈。