上方电子采访|研发PVD装备实现突破,国外同类产品价格应声而落

此前,浙江上方电子装备有限公司成功研制的国内首台8.6代新型显示PVD装备顺利完成交付,标志着我国在显示产业上游关键设备领域实现历史性突破。随着2020深圳国际全触与显示展的举办,夸克显示网记者有幸采访到上方电子装备事业部总经理来华杭先生,听他来讲述上方电子在高世代显示PVD设备领域的研发历程和心得体会。

上方电子装备事业部总经理来华杭先生

抓住历史机遇 PVD关键设备实现突破

浙江上方电子装备有限公司(简称上方电子)立于2011年12月,注册资金3.25亿元,位于浙江绍兴海滨新城,主要致力于为客户提供高性价比的真空镀膜装备解决方案。

随着中国显示产业规模的不断扩大以及国家对显示产业上游材料设备领域的重视,在材料应用工作20多年的上方电子的创始人把目光瞄准了过国内蓬勃发展的显示产业,聚集了从事半导体显示设备领域的技术人员,组成团队研发新型显示PVD核心设备。

 

我国是较大的显示屏生产国,但显示屏生产过程中用到的PVD等关键技术设备,大多被美国和日本公司垄断。为推动核心设备国产化,2014年国家发改委和工信部联合对重点产业项目立项,其中一个项目就是“8.5代半导体显示PVD设备研发和产业化”。据上方电子装备事业部总经理来华杭先生表示,上方电子依靠不断积累的技术优势,一举拿下了半导体显示核心装备PVD研发项目,该项目是浙江省有史以来规模最大的攻关研发项目,并于2019年研发成功,交付客户。

 

随着经济动荡和新冠疫情影响,国外留学人员及华裔人才有很强的愿意回国发展,对上方电子来说,吸收高端人才将是一个难得不错的发展机会。这两年上方电子引入人才的力度非常大,也受到当地政府的大力支持。另外,因国外核心设备有被卡的风险,国内面板龙头企业如京东方、华星光电等也积极和上方电子合作,考察上方电子的产品研发和技术实力,并验证产品可靠性及稳定性。这对上方电子来说,如果能够得到客户的认可,未来发展前景将十分广阔。

 

由于破解了我国显示领域“卡脖子”关键装备技术,2020年8月20日,浙江上方电子装备有限公司荣获第三届中国新型显示产业链“突出贡献奖”。

避开国外企业专利壁垒 实现技术自我创新

截止2018年以前,在Thin Film设备领域(包含PVD、CVD等成膜设备),本土产品的国产化渗透率几乎为0%,其中PVD设备始终被ULVAC和AKT垄断。

 

在显示用PVD设备方面,国外企业已经积累多年,无论是人才、技术、制造工艺等方面都具有雄厚的实力,特别在专利方面也多有布局。国内厂家想在这一领域实现突破是非常困难的。

 

对这一问题,华杭先生表示,上方电子的研发团队在开始研发PVD设备之前,已对AKT、ULVAC的LCD PVD设备核心制造做了深入研究,查看相关资料,比如传送系统等,从一开始就避开了这两家的专利壁垒。

 

另外,上方电子研发人员在承接这一重大研发设备时,也与国内面板龙头京东方、华星光电等签署合作协议,从工艺制造等各方面进行技术协助,与上方电子研发团队共同研发这一关键核心设备。

 

上方电子自主设计并开发的8.6代Array PVD装备,最大玻璃基板尺寸为2250mm×2600mm,采用旋转阴极镀膜技术,可实现薄膜沉积厚度非均匀性<5%,靶材利用率>80%。该装备具有生产工艺先进、性能稳定、操作简单、维护保养成本低等优点。

 

目前,上方电子已拥有核心装备技术专利52件,生产的高端装备已应用在国内不少显示屏生产企业的流水线上,满足了企业高性能新型面板生产需求。据来华杭总经理讲,自从上方电子在PVD设备取得突破性进展,并顺利交付后,全球的PVD设备产品价格应声而落,未来3-5年将实现更大幅度的降价。

 

中国已成为显示装备的较大的市场之一,加强磁控溅射PVD等关键工艺装备的国产化配套,是我国显示产业提升竞争力的关键,而上方电子实现了核心设备PVD的突破,具有里程碑意义。

研发创新不停歇 努力开拓新市场

来华杭表示,显示产业上游核心设备的国产化过程较为的,与AKT、ULVAC等国外企业相比,在研发实力方面相差很大。国外企业长期发展多年,技术积累比较雄厚,国内企业想要短时间超越也比较难。

 

显示产业上游材料设备还是需要本土厂家来布局的。来华杭表示,可以从某一个领域,比如显示领域Array、CF基板、碳化硅等,实现某一个领域超越是完全可行的。虽然完成替代进口,短时间内还比较难,但上方电子在显示领域,3-5年后还是可以实现可替代进口。

 

目前,上方电子技术人员约100人,研发投入约占销售收入的20%,年销售额一个多亿,仅研发投入金额就在2500万左右。

 

上方电子在顺利交付8.5/8.6代线PVD设备后,也着手研发10.5/11代液晶面板生产线所用PVD设备,与8.5代线的PVD设备相比,还是有很大的技术门槛,比如传送系统等,都要有新的创新和设计。所以国内企业还需要从人才和创新方面入手。

 

除了设备研发方面,来华杭表示,上方电子还积极拓展显示行业的应用市场。随着国内新上的TFT-LCD高世代生产线越来越少。国内厂商面板生产线的技改和升级也是上方电子着重去做的市场,8.5、10.5及11代生产线对产能和良率升级的需求还是比较多,包括机台维护与维保服务;与国外企业的零部件和服务跟不上本土厂家的需求,这成为上方电子的最大优势。

 

除了显示面板市场外,上方电子也在触控、集成电路、薄膜光伏、电致变色、柔性显示、3D/AR镀膜、新能源汽车镀膜应用等领域也能找到广阔的市场。

关于浙江上方电子

 浙江上方电子装备有限公司是一家专注于高端电子装备研发及产业化的高新技术企业,主要产品磁控溅射镀膜设备、卷对卷柔性镀膜设备及其相关服务,其产品广泛应用于新型显示、薄膜太阳能及电致变色玻璃领域。

 

上方电子秉承“开放、共商、互信互惠”的理念,致力于为客户提供高性价比的真空镀膜装备解决方案。

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